Kompresor Udara Bebas Minyak untuk Lab Semikonduktor

Untuk membangun jalur utilitas yang andal untuk fasilitas penelitian presisi, sumber dari pemasok Kompresor Udara Bebas Minyak Tiongkok untuk Lab Semikonduktor. Solusi udara dengan kemurnian tinggi DECHUAN menggunakan segel isolasi karbon berlapis-lapis untuk menghilangkan jejak hidrokarbon, memastikan kualitas gas murni untuk pengetsaan silikon yang penting.

Persyaratan Penting Kemurnian Gas Ruang Bersih

Dalam fabrikasi semikonduktor dan litografi film tipis, bahkan setetes uap minyak mikroskopis yang terbawa melalui saluran udara dapat merusak keseluruhan produksi. Produk khusus ini dirancang untuk memenuhi standar kemurnian tertinggi:

• Pengiriman Udara Kelas 0 Bersertifikasi TÜV: Sistem kami menjalani pengujian ketat pada berbagai suhu pengoperasian. Analisis independen memastikan tidak adanya jejak minyak dalam aliran udara keluaran.

• Jalur Udara Internal Bebas Korosi: Setiap bagian pipa, bundel pendingin, dan matriks pemisah di bagian hilir ruang kompresi terbuat dari baja tahan karat premium untuk mencegah serpihan karat mengkontaminasi saluran udara ruang bersih.

• Integrasi Elektronikon® Tingkat Lanjut: Pengontrol terintegrasi melacak metrik operasional dengan cermat dan dilengkapi fitur penghentian keselamatan proaktif untuk memastikan tidak ada udara kotor yang masuk ke jaringan laboratorium.

Tingginya Biaya Kontaminasi Mikro pada Barang Elektronik

Dalam fabrikasi wafer semikonduktor, satu tetesan aerosol minyak dapat mencemari seluruh lingkungan ruang bersih, merusak ribuan wafer silikon dan menyebabkan hilangnya jutaan waktu produksi. Kompresor udara tradisional tidak dapat menjamin kemurnian nol hidrokarbon mutlak yang diperlukan untuk proses berskala nanometer ini.

Kompresor Udara Bebas Minyak khusus untuk Lab Semikonduktor menjamin keamanan proses murni:

• Aliran Udara KELAS 0 Bersertifikat: Diuji secara ketat oleh TÜV pada rentang termal dan tekanan ekstrem untuk memastikan nol mutlak keberadaan minyak.

• Internal Bebas Partikulat: Precooler baja tahan karat dan penukar panas sirip bintang menghilangkan serpihan oksidasi atau pelepasan bahan kimia di jalur udara.

• Pelindung Pemantauan Elektronik: Alarm pemeliharaan proaktif dan penghentian kesalahan otomatis mencegah penyimpangan sistem sebelum mencapai peralatan ruang bersih Anda.

Parameter Kemurnian Teknis

• Peringkat Daya Sistem: konfigurasi kepadatan tinggi 55kw - 900kw.

• Laju Pengiriman Volumetrik: 4,2 - 148,5 m³/mnt keluaran aliran bersih.

• Klasifikasi Kandungan Minyak: Validasi ISO 8573-1 Kelas 0 sepenuhnya bebas minyak.

• Tata Letak Pendinginan: Pendinginan cairan baja tahan karat mencegah keluarnya gas kimia.

Kondisi referensi kinerja untuk unit diukur berdasarkan Lampiran C, ISO 1217 edisi ke-4 (2009):

· Kelembapan relatif: 0%

· Tekanan masuk absolut: 1 bar

· Suhu masuk: 20°C Laju pelepasan (FAD) diukur pada tekanan pengoperasian berikut:

Jenis kecepatan konstan:

·  -7,5 jenis batang: 7 batang

· -8,6 jenis batang: 7 batang

· Tipe -10 batang: 9 batang

Jenis VSD:

· -8,6 jenis batang: 7 batang

· Tipe -10,4 batang: 9 batang

· (2) Tingkat tekanan suara emisi tertimbang stasiun kerja (LpWSAd) Kelas A. Diukur menurut ISO 2151:2004 (menggunakan metode pemindaian intensitas suara 150 9614/2). Faktor koreksi yang baru ditambahkan adalah nilai yang sepenuhnya tidak pasti (KpAd), sesuai dengan kode pengujian.

· (3) Berat hanya untuk referensi; berat sebenarnya yang diberikan akan berlaku.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Menurut ISO 1217 Annex C, 4th Edition (2009), kondisi acuan kinerja unit adalah sebagai berikut:

· Kelembapan relatif: 0%

· Tekanan masuk absolut: 1 bar

· Suhu masuk: 20°C

Perpindahan FAD diukur pada tekanan operasi berikut:

Model kecepatan konstan:

-Model 7,5 bar: 7 bar

-Model 8,6 batang: 7 batang

-10 model bar: 9 bar

Model VSD:

-Model 8,6 batang: 7 batang

-Model 10,4 batang: 9 batang

(2) Tingkat tekanan suara emisi tertimbang stasiun kerja (LpWSAd) Kelas A. Diukur menurut ISO 2151:2004 (metode pemindaian intensitas suara ISO 9614/2). Faktor koreksi KpAd yang baru ditambahkan tidak pasti, sesuai dengan kode pengujian.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Berat hanya untuk referensi; berat sebenarnya akan berlaku.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Kelembaban relatif: 0%

-Tekanan masuk absolut: 1bar

-Suhu masuk: 20°℃

Laju pelepasan (FAD) diukur pada tekanan operasi berikut

Jenis kecepatan konstan:

-7,5 tipe batang: 7 batang

-8.6 tipe batang: 7 batang

-10 tipe batang: 9 batang

Tipe VSD:

-8.6 tipe batang: 7 batang

-10,4 tipe batang: 9 batang

(2) Tingkat tekanan suara emisi tertimbang stasiun kerja (LpWSAd) Kelas A.

Diukur menurut ISO 2151:2004 (menggunakan 150 9614/2 (metode pemindaian intensitas suara).

Faktor koreksi yang baru ditambahkan adalah nilai yang sepenuhnya tidak pasti (KpAd), sesuai dengan kode pengujian.

(3) Berat hanya untuk referensi; berat sebenarnya yang diberikan akan berlaku.

ZR 300-750

Kondisi referensi kinerja untuk unit diukur berdasarkan Lampiran C, ISO 1217 edisi ke-4 (2009):

· Kelembapan relatif: 0%

· Tekanan masuk absolut: 1 bar

· Suhu masuk: 20°C Laju pelepasan (FAD) diukur pada tekanan pengoperasian berikut:

Jenis kecepatan konstan:

·  -7,5 jenis batang: 7 batang

· -8,6 jenis batang: 7 batang

· Tipe -10 batang: 9 batang

Jenis VSD:

· -8,6 jenis batang: 7 batang

· Tipe -10,4 batang: 9 batang

· (2) Tingkat tekanan suara emisi tertimbang stasiun kerja (LpWSAd) Kelas A. Diukur menurut ISO 2151:2004 (menggunakan metode pemindaian intensitas suara 150 9614/2). Faktor koreksi yang baru ditambahkan adalah nilai yang sepenuhnya tidak pasti (KpAd), sesuai dengan kode pengujian.

· (3) Berat hanya untuk referensi; berat sebenarnya yang diberikan akan berlaku.

ZR 200X-400X

Kondisi referensi kinerja untuk unit diukur berdasarkan Lampiran C, ISO 1217 edisi ke-4 (2009):

· Kelembapan relatif: 0%

· Tekanan masuk absolut: 1 bar

· Suhu masuk: 20°C Laju pelepasan (FAD) diukur pada tekanan pengoperasian berikut:

Jenis kecepatan konstan:

·  -7,5 jenis batang: 7 batang

· -8,6 jenis batang: 7 batang

· Tipe -10 batang: 9 batang

Jenis VSD:

· -8,6 jenis batang: 7 batang

· Tipe -10,4 batang: 9 batang

· (2) Tingkat tekanan suara emisi tertimbang stasiun kerja (LpWSAd) Kelas A. Diukur menurut ISO 2151:2004 (menggunakan metode pemindaian intensitas suara 150 9614/2). Faktor koreksi yang baru ditambahkan adalah nilai yang sepenuhnya tidak pasti (KpAd), sesuai dengan kode pengujian.

· (3) Berat hanya untuk referensi; berat sebenarnya yang diberikan akan berlaku.

Studi Kasus Pengguna Laboratorium Cleanroom

Sebuah produsen elektronik di Asia memasang sistem udara khusus DECHUAN untuk memasok loop penghasil nitrogen dengan kemurnian tinggi dan unit pengujian pneumatik. Sebelumnya, kompresor standar membiarkan jejak uap minyak bermigrasi melewati filter inline, melapisi lensa litografi dan menyebabkan retakan mikro pada lapisan wafer. Setelah memasang Kompresor Udara Bebas Oli untuk Lab Semikonduktor, lab tersebut melaporkan nihil insiden kontaminasi saluran terkait oli, sehingga menghemat biaya pembersihan ruang bersih dan kalibrasi ulang secara signifikan selama dua tahun pengoperasian berkelanjutan.

Penjahitan & Kontrol Komponen Khusus

• Peningkatan Material Baja Tahan Karat: Kami mengganti semua komponen cor internal standar dengan baja tahan karat bermutu tinggi untuk memenuhi pedoman kontaminasi mikro yang ketat.

• Protokol Komunikasi Tingkat Lanjut: Unit ini dilengkapi dengan protokol komunikasi khusus, yang memungkinkan pusat kendali ruang bersih memantau metrik udara dari jarak jauh.

• Jejak Struktural yang Ringkas: Tata letak interior dioptimalkan untuk meminimalkan tapak, sehingga mudah dipasang di ruang utilitas basement laboratorium yang sempit.

FAQ Pembeli Industri

T: Bisakah kita menghubungkan kompresor ini langsung ke loop filtrasi dengan kemurnian sangat tinggi (UHP)?

J: Ya, keluaran udara kami sepenuhnya kompatibel dengan pengering pengering ruang bersih canggih dan sistem penyaringan partikel sub-mikron. Karena udara mentah tidak mengandung uap minyak, filter khusus tempat penggunaan Anda tidak akan tersumbat oleh kabut minyak, sehingga memperpanjang masa pakai filter.

T: Bagaimana seal tipe Z memastikan tidak ada migrasi oli dari rakitan roda gigi?

J: Kompresor Udara Bebas Oli untuk Lab Semikonduktor dilengkapi ruang ventilasi atmosfer fisik antara rumah roda gigi berpelumas oli dan ruang kompresi kering. Segel cincin karbon non-kontak khusus dipasangkan dengan saluran tekanan negatif, memastikan kabut oli roda gigi benar-benar terhalang memasuki aliran udara bersih.

T: Apa yang terjadi jika sensor suhu internal mendeteksi pembacaan yang tidak normal?

J: Pengontrol Elektronikon® mengambil sampel data penting beberapa kali per detik. Jika lonjakan suhu terdeteksi pada tahap apa pun, sistem akan langsung memicu pematian otomatis dan menutup katup isolasi, memastikan udara yang tidak didinginkan tidak pernah mengalir ke hilir ke peralatan sensitif lab Anda.